Science and technology of chemical mechanical planarization (CPM) - symposium held April 14-16, 2009, Boston, Massachusetts, U.S.A
- Författare
- (Editors: Ashok Kumar ..)
- Genre
- Konferenspublikation, Bibliografi
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Materials Research Society | 2009 | Pennsylvania, Warrendale, Pa | ix, 165 sidor. ill. | 978-1-60511-130-8 |